Wafer Muster
Das Geometrieverifizierungssystem der NGR basiert auf dem Algorithmus “Die zu Datenbank” und trägt mit dem breiten FOV-Elektronenmikroskop zur Hochempfindlichkeits-Defektprüfung bei Musterfehlern und zur 2-dimensionalen Massen-CD-Messung bei. Die Miniaturisierung von Halbleiterbauelementen trägt zum Gewinn der Halbleiterhersteller bei, verursacht jedoch Gewinnverluste aufgrund der Abnahme der Ausbeute, die durch Defekte wie Muster kurz, Muster während des Produktionsprozesses […]